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第60章 芯片研究(第2/2页)

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,把化学反应剂的蒸气引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜。

    12、等离子体增强化学气相淀积系统,利用辉光放电,让等离子电离后在硅片衬底上进行化学反应,沉积半导体薄膜材料。

    13、磁控溅射台,在设备内部形成正交电磁场,把将电子束缚在加工目标表面特定区域,实现高离子密度和高能量的电离,让特定原子在基片上形成薄膜。

    14、化学机械抛光机,通过机械研磨和化学溶解的综合作用,半导体进行研磨抛光。

    15、引线键合机,把半导体芯片上的输出点与外面封装管脚用导电金属线链接起来,如果是高端芯片,一般是用黄金作为连接材料,这也是黄金可以作为贵重金属的重要原因。

    16、探针测试台,通过探针与半导体器件的引脚接触,进行电学测试,检测半导体的性能指标是否符合设计性能要求。

    方浩一边查阅以前自己记载的资料,一边利用自己掌握的知识进行分析,列出这些设备所需要攻克的技术,思索着如何去实现它。

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